Gaz wzorcowy wodorowy

Wodór o wysokiej czystości, gaz wzorcowy wodoru to krytyczny gaz przemysłowy charakteryzujący się wyjątkowo niskim poziomem zanieczyszczeń, specjalnie dostosowany do zastosowań, w których zanieczyszczenie innymi gazami mogłoby zagrozić wydajności lub bezpieczeństwu. Pozyskiwany głównie w procesie parowego reformingu metanu lub elektrolizy i rafinowany zgodnie z rygorystycznymi normami, wodór o wysokiej czystości jest niezbędny w produkcji elektroniki, syntezie chemicznej i pojawiających się technologiach czystej energii. Niezawodne dostawy wodoru o wysokiej czystości zapewniają optymalną wydajność i bezpieczeństwo w procesach, począwszy od produkcji półprzewodników po eksploatację ogniw paliwowych.

Gaz mianowany wodorem działa przede wszystkim jako środek redukujący, gaz nośny lub paliwo. W produkcji półprzewodników stosuje się go do wyżarzania, wzrostu epitaksjalnego i jako gaz formujący (zmieszany z azotem), aby zapobiec utlenianiu. Wysoka przewodność cieplna i niska gęstość sprawiają, że jest to skuteczny czynnik chłodzący w dużych generatorach. W ogniwach paliwowych łączy się elektrochemicznie z tlenem, wytwarzając energię elektryczną i wodę. W procesach chemicznych uczestniczy w reakcjach uwodornienia, hydrokrakingu i odsiarczania. W celu utrzymania czystości od momentu wytworzenia do punktu użycia stosuje się specjalistyczne technologie przechowywania, obsługi i oczyszczania.

Wiodący producent zaawansowanych chipów półprzewodnikowych do urządzeń 5G napotkał utrzymujące się niespójności warstwy tlenku podczas krytycznego etapu wyżarzania, co miało wpływ na wydajność i wydajność tranzystora. Podejrzewali, że przyczyną jest śladowy tlen w gazie procesowym. Nawiązaliśmy współpracę w celu wdrożenia dedykowanego źródła wodoru o wysokiej czystości 99,9999%, zintegrowanego z oczyszczaczem--w miejscu użycia, aby zagwarantować poziom tlenu na wlocie narzędzia poniżej 10 ppb. Dodatkowo wdrożyliśmy system monitorowania-wilgotności i tlenu w czasie rzeczywistym. Ultra-suche, wolne od tlenu-środowisko stworzone przez nasz wodór o wysokiej czystości wyeliminowało problem utleniania, co skutkuje 30% poprawą wydajności płytek w dotkniętej warstwie procesowej i zwiększoną niezawodnością urządzenia. Ta współpraca nie tylko rozwiązała krytyczne wąskie gardło w produkcji, ale także ustanowiła nowy standard czystości gazu w ich fabryce, demonstrując, że gaz wzorcowy wodorowy bezpośrednio umożliwia-najnowocześniejszą produkcję półprzewodników.